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濕度：
SF6氣體綜合測試儀測量范圍:露點-80+20℃(支持PPMV等)

l 露點精度:±0.4℃(當露點溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點)

l 響應時間63%[90%]

+20→-20℃ Td 5s[45s]

-20→-60℃ Td 10s[240s]

l 分辨率:露點0.1℃或0.1ppm

l 重復性:±0.4℃

l 氣體流量SF6調(diào)節(jié)在0.5~0.9L/min

l 探頭保護:不銹鋼燒結過濾網(wǎng)

純度：
l 測量范圍:0~100%SF6;

l 精度和重復性:±0.4%，與流量無關;

l 響應時間:90%，15s

分解產(chǎn)物：
l H2S:1~200ppm(標配)

l SO2:1~100ppm(標配)

l HF:0~10ppm(可選)

l 精度:±1ppm

SF6氣體綜合測試儀其他：
l 顯示方式:彩色超大LCD顯示屏

l 工作電壓:220VAC±10% 50Hz，交直流兩用，過充保護，內(nèi)置3500mAH充電電池

l 工作壓力:0~1.0MPa

l 樣氣流速:無影響

l 電子質(zhì)量流量計

l 輸出接口:USB1.1規(guī)范

l 操作環(huán)境:溫度:-20~+60℃

l 尺寸:高320×深165×寬285mm

l 重量:約3.5kg